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肇庆市高能达化工有限公司
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名称:三氟化氮      型号:

三氟化氮NF3

 

 商品详细介绍

 

 

 A colorless,toxic,nonflammable,oxidizing,high pressure gas.
 (一种无色、有毒、不燃、具有氧化性的高压气体)

 Formula(分子式):

NF3

 

 Molecular weight(分子量):

71.02g/mol

 

 Boiling point(沸点):

-73℃

-99.4°F

 Melting point(熔点):

-168℃

-270.4°F

 Vapor pressure(蒸汽压):

9997KPa(21.1℃)

1450Psia(70°F)

 Specific volume(比容):

0.34m3/kg(21.1℃,101.325KPa) 

5.4ft3/lb(70°F,14.696psia)

 Threshold Limit Value(人体的最高容许浓度):

10ppm

 

 UN Number(UN号码):

UN2451

 

 DOT Classification(DOT类别):

2.2(Nonflammable Gas)(不燃气体)

 DOT Lable(DOT标签):

Non-flammable gas (不燃气体)

 Grsde(级别):

4N

 

 Purity(纯度):

99.99%

 

 

 

 纯度规格

 

 Impurity(非组分):

Specification(标准)

 Oxygen(氧):

≤10.0  ppmv

 Nitrogen(氮):

≤10.0 ppmv

 Carbon Dioxide(二氧化碳):

≤10.0  ppmv

 Carbon Tetrafluoride(四氟化碳):

≤40.0 ppmv

 Water(水):

≤1.0 ppmv

 Acidity as HF(酸化物,如氟化氢):

≤5.0 ppmv

 Nitrous Oxide(氧化亚氮)

≤10.0 ppmv

 

 

 包装

容积

重量

连接阀门

 小钢瓶

44L 

20Kg

CGA640

 

 应用:等离子刻蚀;硅、氮化硅、钨·硅化合物和钨薄膜的刻蚀;CVD炉室清洗

 

 

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