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肇庆市高能达化工有限公司
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地  址:广东肇庆市高要南岸二期开发区上元村

名称:硅烷1      型号:

SiH4硅烷简介:

硅烷是强还原剂,与重金属卤化物激烈反应,与氯、溴发生爆炸性反应,与四氯化碳激烈反应。因此对硅烷不能使用氟里昂灭火剂。硅烷不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿和四氯化硅。不与润滑油、脂肪反应。对几乎所有的金属无腐蚀性。有时,玻璃中的碱成分也能分解硅烷。溶解在二硫化碳中的硅烷遇到空气也可发生爆炸。硅烷广泛用于硅的外延生长、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料,太阳能电池,光导纤维,有色玻璃制造等。

 

商品详细:

2.1(Flammable Gas)(可燃性气体)                                    DOT Lable(DOT标签): FLAMMABLE GAS(可燃性气体)

Grsde(级别):6N                                                    Purity(纯度):99.9999%

Impurity(非组分) Specification(标准)

 Oxygen(氧)+Argon(): ≤0.06ppmv                                                                   Nitrogen(氮): ≤0.5 ppmv

 Carbon Dioxide(二氧化碳):≤0.05 ppmv                                                          Carbon Monoxide(一氧化碳): ≤0.05 ppmv

 Helium(氦):≤1   ppmv                                                                                       Water(水):≤0.1 ppmv

 Hydrogen(氢): ≤20   ppmv                                                                                Disilane(乙硅烷) ≤0.5  ppmv

 Disiloxane(二甲硅醚):≤0.05 ppmv                                                                 C2-C4(碳2--4): ≤0.1 ppmv

 Methane(甲烷): ≤0.05 ppmv                                                                              Total Chlorosilanes(总氯硅烷): ≤0.1 ppmv

  

 包装

容积

重量

连接阀门

 小钢瓶

47L

10Kg

CGA350 DISS632

 Y瓶

440L

120Kg

DISS632(手动)DISS632(气动)

应用:在外延生长技术中用作硅源、用于低温二氧化硅CVD、用于氮化硅  CVD

 

硅烷注意事项:

使用硅烷的工作场所要通风,保持室内空气干燥。硅烷装置要严格密封,避免和空气、水分相接触,为此,用气装置在使用前要用惰性气体置换里面的空气后抽真空,这样反复进行置换和抽真空,一定要彻底清除系统中的空气和水分。装置使用以后,也要用惰性气体置换清洗系统中的硅烷。可以用氦探漏器探漏。少量硅烷泄漏时,从氧化硅粉末的折出中也可以得知。钢瓶要存放在阴凉干燥通风良好之处,要远离热源和氯、溴等氧化剂。工作场所要配备足够的防护用品及应急用品。硅烷无腐蚀性,可以使用碳钢、不锈钢、铜、黄铜、蒙乃尔、耐蚀镍基合金。也可用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合体、尼龙、三氟氯乙烯树脂、聚乙烯、聚酯、石英玻璃。不能用铅、橡胶、脂肪、润滑油、玻璃。凡是可燃性的有机高分子材料应该避免使用。当硅烷大量泄漏时。紧接着就要着火,所以无法用灭火器灭火。但是可以控制火势,使火灾不向周围蔓延。燃烧时辐射热不太高,所以应尽可能去关闭阀门以止住气体的流出。可用白雪石粉或石墨粉熄火。废气可用水或碱吸收,或者在特殊燃烧器中燃烧成SiO2之后用专门的过滤器捕捉。储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过30。应与易(可)燃物、氧化剂分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。密闭操作,局部排风。操作人员必须经过专培训,严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴过滤式防毒面具(半面罩)。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。

硅烷的应用:

高纯硅烷跟一起用于生产太阳能薄膜电池将硅分子附着于电池表面

一起用于LOW-E镀膜玻璃的生产

高纯硅烷应用于大规模集成电路的外延生长工艺中用作硅源

应用于国防、军事工业的研发、生产

硅烷在平板显示生产中也有重要的用途

用于低温二氧化硅CVD、用于氮化硅CVD

硅烷操作说明:

用一个减压器或独立的控制阀安全地从气瓶内释放硅烷。用单向阀来防止倒流。不要用明火或其它附近的热源加热钢瓶的任何部分。
使用防火花工具。不要试图对装有硅烷的钢瓶进行修理、调节或其他改动。
用氢离子检测器监测硅烷的修理和在空气中的扩散,用红外/紫外监测器监测火灾 。所以的监测器都应有内锁,一旦发现问题立即自动切断硅烷气源。
如果出现故障或其他操作问题,请立即与最近的分销商联系。
硅烷系统中不允许使用填压阀,只允许使用非填压的膜阀和波纹管阀。在其分配系统中应安装过流阀或过流开关。这样可以在下游管线发生爆炸时切断气源。这个开关阀应安装得离气源越近越好。
如有可能应避免单独一个人操作钢瓶。所有的操作都应这样进行,一旦发生泄漏,处理紧急情况的人员可以立即赶到。
监测系统应装备备用或应急电源。必须有遥控紧急开关,必要时可关闭硅烷气源。
一定不要拉、滚动或滑动容器。用合适的手推车来移动容器,不要试图抓住气瓶的盖子来拎起它。保证气瓶在使用的全过程中为固定状态。
不可将工具(如:扳手,螺丝刀,等插入阀盖内。否则会损坏阀门并引起泄漏。
一旦钢瓶与吹扫和钝化过的系统连接好,应缓慢仔细地打开钢瓶阀。如果使用者在操作气瓶阀时有困难,需停止使用,并与供应商联系。
使用可调节的带扳手来打开过紧或生锈的阀盖。所有管路和相关设备接地。电器设备必须防火花和防爆。

 

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