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名称:超纯氨气      型号:

高纯氨

高纯氨主要应用于新型光电子材料领域,是MOCVD技术制备GAN的重要基础材料。由GAN生产高灵敏度蓝光发光二级管和蓝光激光器,以及其它相关电子器件,是国内外都在抢占的产业。高纯氨还是制备三氟化氮、氮化硅、的基础材料,是生产超高级氮的原料气。此外,液氨广泛地应用于半导体工业、冶金工业,以及需要保护气氛的其他工业和科学研究中。

 商品详细介绍    
 A colorless,toxic,flammable,corrosive,liquefied gas.(一种无色,有毒,可燃,具腐蚀性的可液化气体)
 Formula(分子式): NH3  
 Molecular weight(分子量): 17.03g/mol  
 Boiling point(沸点): -33.4℃ 28.1°F
 Melting point(熔点): -77.7℃ 107.9°F
 Vapor pressure(蒸汽压): 888KPa(21.1℃) 129Psia(70°F)
 Specific volume(比容): 1.41m3/kg(21.1℃,101.325KPa) 
22.6ft3/lb(70°F,14.696psia)
 Lower Flammable Limit(最低可燃性含量): 15%  
 Upper Flammable Limit(最高可燃性含量): 30%  
 Threshold Limit Value(人体的最高容许浓度): 25ppm  
 DOT Classification(DOT类别): 2.2(Flammable Gas)(可燃性气体)
 DOT Lable(DOT标签): FLAMMABLE GAS(可燃性气体)

 

 

 电子工业用气体  氨(GB/T14601-2009)
 项目名称 电子级 光电子级
 氨(NH3)纯度(体积分数)/10-2         ≥  99.9995  99.99994
 氧(O2)含量(体积分数)/10-6          <  1  0.1
 氮(N2)含量(体积分数)/10-6                1  —
 氢(H2)含量(体积分数)/10-6          <  —  0.1
 一氧化碳(CO)含量(体积分数)/10-6        1  0.05
 二氧化碳(CO)含量(体积分数)/10-6        —  0.1
 烃(C1~C3)含量(体积分数)/10-6           1  0.05
 水分(H2O)含量(体积分数)/10-6            3  0.2
 总杂质含量(体积分数)/10-6                   5  0.6

 

 

 应用:晶圆清洗、在CVD过程中生成氮化硅或氮化镓等薄膜

 

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